プローブエージング装置 　Life Cycle Test System 　プローブの耐久試験機です。抵抗値の変化をリアルタイムに表示、グラフ可します。

測定顕微鏡 　　Mesuring Microscope 　　　　　　　φ30μ拡大写真

Ｘ線CT装置 　X-Ray Insipection System Ｘ線透過装置です。プローブのかしめ状況等を確認します。CTスキャンにより、立体的な解析も可能です。

マシニンググセンタ 　　　Machining Center リニアモーター駆動の超精密小型マシニングです。 　　　　　　　 　　　　　　　　　　エンドミル